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在線管式PECVD上下料機(jī)
產(chǎn)品說(shuō)明：
在線管式PECVD上下料機(jī)是一款將硅片從硅片承載盒中自動(dòng)裝載至PECVD石墨舟或從PECVD石墨舟中自動(dòng)裝載至硅片承載盒中的設(shè)備。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1.速度：6000片/小時(shí);
2.極低的破損：≤0.03%;
3.預(yù)留PL工位，可兼容面陣及線掃AOI相機(jī);
4.softtouch設(shè)計(jì)理念，降低硅片碎片率;
自動(dòng)裝載
低破損率
高產(chǎn)能