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在線擴(kuò)散/退火自動上下料機(jī)
產(chǎn)品說明：
在線擴(kuò)散/退火自動上下料機(jī)是一款將擴(kuò)散前的硅片從花籃自動放置到石英舟中，再自動送至擴(kuò)散爐中，硅片擴(kuò)散完后，再自動將擴(kuò)散后的硅片從石英舟中放置到花籃中的設(shè)備。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1.速度：12000片/小時;
2.極低的破損：≤0.02%;
3.吸盤印、托齒印痕等綜合不良：≤0.02%;
4.兼容方形舟及菱形舟;
5.對應(yīng)2.38~3.15 mm不同齒距規(guī)格的石英舟;
自動放置
低破損率
高產(chǎn)能