多焦點任意出力制御
ウエハーステルスダイシングマシン
ウエハーステルスダイシングマシンは、インシリコンダイシング用にカスタマイズされた特殊レーザーを採用し、透過率と集光品質(zhì)を考慮することができます。同時に、高速で精密なエアフローティングプラットフォームとフルクローズドループ數(shù)値制御システム、高解像度CCD畫像位置決め技術を採用し、ビームシェーピングLBC制御と多焦點任意出力制御をサポートし、高品質(zhì)のウェハーステルスダイシングを?qū)g現(xiàn)し、製品が獨自の知的財産権を有する。