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レーザー穴あけ機(jī)は、高精度プラットフォーム構(gòu)造設(shè)計(jì)とカスタマイズされたレーザーシステム設(shè)計(jì)を採用し、HBCで処理効率を向上させることができます。一方、高解像度CCD畫像位置決め技術(shù)、高速?高精度リニアモータモジュール、フルクローズドCNCシステムを採用し、穴あけ?スクライビング加工をサポートする。レーザーは、高ダイナミックプロセスでもパルスエネルギーを安定に保つことができるE-プラス機(jī)能を備えており、製品は獨(dú)立した知的財(cái)産権を持っている。

1.8インチおよび12インチウェハに対応。
2. 最小開口サイズ15 um、ビーム整形サイズ可変、小孔エッジ端正で滑らか、熱影響、バリやその他の現(xiàn)象がない。
3. CCDの視野の前スキャン、マークポイント、輪郭の位置および他の機(jī)能が裝備されている。
4. 実際の要件に応じて個々のコンポーネントを詳細(xì)にカスタマイズする可能性を持つモジュラー設(shè)計(jì)。
5. 顧客の異なった必要性に従ってその他の機(jī)能である場合もある。