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ウエハー裏面マーキング裝置は、高精密モーションプラットフォームと完全クローズドループ數(shù)値制御システム、及び高解像度CCD畫像位置決め技術(shù)とAOI検査機能を採用し、ウエハー裏面マーキングと全自動ウエハーローディング、アンローディングに使用でき、裝置は完全に獨立した知的財産権を有する。

1.畫像：±10um、プラットフォームリピート：±5um、マシン全體の精度：±50um；
2.シングルヘッドの効率は、通常のダブルヘッドをさらに50％上回ると同時に、8,12inch Foup、Casseteと互換性がある；
3.ウエハーの水平になるメカニズムが裝備されていて、柔らかいウエハーにマーキングすることができ、高精度のハードウェア構(gòu)成はウエファーのゆがみ（≤ 12mm）に対処できる；
4.レーザー：グリーンレーザー、空冷放熱、モジュール化された設計。