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ウエハーIDマーキングマシンは高精度モーションプラットフォームと完全クローズドループ數(shù)値制御システム、高解像度CCD畫像位置決め技術(shù)とAOI検査機能を採用し、ウエハーIDマーキングと全自動ウエハーローディング、アンローディングに使用でき、設(shè)備は完全に獨立した知的財産権を有している。

1. ビジョン：±20um、プラットフォームの繰り返し：±10um、機械全體の精度：±125um。
2.8インチ、12インチウェハーに対応。
3. 出力検出、リアルタイム補正に対応;。
4. レーザー：特注レーザー、空冷式、モジュール化設(shè)計。
5. 実際のニーズに基づいて、各部品をカスタマイズすることができ、お客様のニーズに応じて、オプションで他の機能を追加することができる。